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MAI

Synchrotron-based EUV radiation for nanolithography and actinic mask inspection

Séminaire
Académique ou spécialiste
11.05.2016 17:15 - 18:15
Présentiel

Quand?

11.05.2016 17:15 - 18:15

Où?

Site PER 08 / Salle 0.51
Chemin du Musée 3, 1700 Fribourg

Organisation

NCCR Bio-Inspired Materials
Myriam Marano
myriam.marano@unifr.ch
Ch. des Verdiers 4
1700 Fribourg

Intervenants

Prof. Dr. Jens Gobrecht, Laboratory for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Institut, Villigen

Pièces jointes

10. NCCR Seminar Gobrecht 11.05.2016 (Physics).pdf