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MAI

Synchrotron-based EUV radiation for nanolithography and actinic mask inspection

Seminar
Spezialisiert / Akademisch
11.05.2016 17:15 - 18:15
Präsenzveranstaltung

Wann?

11.05.2016 17:15 - 18:15

Wo?

Standort PER 08 / Raum 0.51
Chemin du Musée 3, 1700 Fribourg

Organisation

NCCR Bio-Inspired Materials
Myriam Marano
myriam.marano@unifr.ch
Ch. des Verdiers 4
1700 Fribourg

Vortragende / Mitwirkende

Prof. Dr. Jens Gobrecht, Laboratory for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Institut, Villigen

Anhänge

10. NCCR Seminar Gobrecht 11.05.2016 (Physics).pdf